| 产品型号 | A3-SR-300 |
| 产品尺寸 | 宽800mm*长1000mm*高500mm |
| 产品图片 |
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| 运动方式 | 手动 |
| 测试方式 | 近红外 反射(R) |
| 波长范围 | 700nm -900 nm（实际要求会有所不同） |
| 光源 | 钨卤素灯寿命10000小时 |
| 光路和传感器 | 光纤式(FILBER )+进口光谱仪 |
| 入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
| 参考光样品 | 硅片 |
| 光斑大小 | About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置） |
| 样品大小 | 450X550毫米 |
| XY行程 | 手动，450X550毫米 |
膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：
| 产品型号 | A3-SR-300 |
| 厚度测量1 | 100nm - 300 um |
| 折射率1（厚度要求） | 大于200nm |
| 准确性2 | 2 nm 或0. 5% |
| 精度3 | 0.1 nm |
2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.
软件(SOFTWARE)：
| 检测项目 | 标准型 |
| 层数 | 10 层 |
| 材料 | 表格型和函数型 |
| 粗糙度模型 | 有 |
| 反射/透射 | 反射型+透射型 |
| 材料库 | 表格型+函数型 |
| 入射角 | 垂直入射 |
| 折射率测量 | 有 |
